スイングカソード™

Swing Cathode™

弊社の「Swing CathodeTM 」エンドブロックは、弊社のSCシリーズエンドブロックと同様の特許技術を用いて開発されており、非常のコンパクトながら、SCシリーズと同様なパフォーマンスと信頼性をもたらしながら、内部のマグネットが左右に揺動します。詳細は右記のリンクをご参照ください。 application paper.

Swing Cathode™

Features
  • マグネットをスイングさせる事によって、静止した基板にロータリーカソードが適用可能となります。
  • ドライブシャフトの長さはユーザーの仕様に応じご提供
  • 小型で柔軟な配置が可能
  • 水回転シールの交換が容易
  • シンプルな内部構造で、部品が少ない
  • 特許技術である冷却水充填および排水方式を採用
利点
  • ディスプレイや、立体物へのコーティングに最適
  • 400㎜のスペースがあれば、デュアル搭載が可能（205㎜が最小ターゲット中心間距離）
  • すべてのユーティリティーが大気側にあり、ターゲット交換時に取り外す必要がない
  • 誘導加熱を起こすことなく、ハイパワーを投入可能
  • 電極ブラシを採用していない為、削り粉が発生しない。
  • シンプルな内部構造の為、ユーザーでのメンテナンスが可能
  • ターゲット交換時に、冷却水をターゲット内部に残さない為、チャンバー内をドライに保て、排気時間の短縮並びにプロセスの安定化に寄与

Swing Cathode™

Power

200kW DC もしくは 80kHz ACまで
V/A

1000v/450A
Target (mm)

4000㎜まで
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