各種マグネットバー

TRM-Bar™
mQRM-Bar™
and QRM-Bar™

RAM-Bar™`

SCI TRM-Bar™ 及びQRM-Bar™ 及び mQRM-BarTM 、これらのマグネットバーはあなたが今必要とされている柔軟性をご提供致します。これらのマグネットバーのいずれかは、きっと貴社のプロセスにマッチするでしょう。 

SCIの最先端マグネットバーの特徴は以下の通りです:

  • 貴社のアプリケーションに応じた複数のマグネットバーをご用意しております。
  • 3次元解析のソフトを用いて最先端のマグネットバーをご提供致します。
  • 弊社の自動磁場検査装置を用いて精密にキャリブレーションされた状態で出荷致します。
  • 数年もの間トラブル無しでのオペレーションを可能とする様、完全にマグネットを冷却水から隔離したカプセル法で、且つ非常に頑丈な構造をしています。
  • スパッタアップ、スパッタダウン、サイドスパッタ等あらゆる角度で用いられるよう、サポートディスク、サポートローラーを備えています。(センター部のサポートディスク及びローラーは、1800㎜以上から標準装備)
  • 現場での磁場調整が容易に可能です。
  • 垂直搭載でも簡単に脱着可能です。

弊社新製品 「SCI RAM-BarTM 」は、チャンバーの外から遠隔でターゲット内のマグネット表面から、ターゲットの内壁の距離、即ちTTM距離を調整可能です。それにより、装置のオペレーション中に、分布の微調整が可能になります。このRAMバーには、弊社のいずれのタイプのマグネットも搭載可能です。

TRM-Bar™
mQRM-Bar™
and QRM-Bar™

RAM-Bar™`

Features

 TRM-Bar™

  • 1000本以上の納入実績
  • 光学用途に最適な、高いスパッタレート

mQRM-Bar™

  • TRMバーよりも約50%の磁場強度が強く、4連構造
  • バランスドマグネットバーにより、プラズマによる基板ダメージがない
  • TRMよりもインピーダンスが低い

QRM-Bar™

  • TCOや、電気的機能性フィルム成膜の為の、最強磁場のマグネットバーであり、ターゲットの使用効率と強磁場を両立させるために特許技術が用いられている。
  • スパッタ効率を高める為に、パワーロスとオペレーティングコストを最小化するような独自設計がなされている。

RAM-Bar™

  • 本体にモーターを内蔵
  • 1/4mmの分解能で調整可能
  • ターゲットの彫れ方に合わせ、ターゲット-マグネット間を離し、常に一定のインピーダンスを実現可能
  • マグネットとターゲットの間隔を、最大20㎜、1/4㎜の分解能で調整
  • 内蔵の2次電池で、6週間の連続使用が可能
  • すべてのマグネットバーの種類を搭載可能
  • PLCもしくは専用のPCを用いて、複数のRAMバーを同時に制御可能
利点

TRM-Bar™

  • 防着板への飛散によるマテリアルロスを最小化する野に適した、狭いスパッタアングル
  • 分布とターゲットの使用効率がトレードオフとなる端部の磁場強度を3種類から提供可能。

mQRM-Bar™

  • 直径170㎜までのターゲットを用いることができ、優れた使用効率を発揮
  •  ローインピーダンスで、ターゲットライフを通じ膜性能を安定化させたい反応性スパッタや、ITOプロセスなどに最適
  • QRMよりもスパッタアングルが狭い

QRM-Bar™

  • 最もインピーダンスが低いプラズマを形成する為、高いパワー密度で高いスパッタレートをぽぼすべての材料で得ることが可能。
  • ターゲットのライフを通じ、電圧変動が非常に少ない安定したプロセスを実現可能

RAM-Bar™

  • 大気下でマグネットを取り出し、調整ねじを触る必要がない為、.  装置を大気開放することなく、成膜中に分布調整が可能
  • ミクロンレベルでの制御が可能になる為、最高レベルの分布調整が可能
  • .コンスタントインピーダンスモードでは、ターゲットライフを通じ、プロセス変動を最小化でき、成膜レートを安定化可能
  • 20㎜厚のターゲットまで、インピーダンスの一定化が可能
  • 内蔵バッテリーにリチウムイオン電池を使用しており、簡易に交換並びに充電が可能

TRM-Bar™
mQRM-Bar™
and QRM-Bar™

RAM-Bar™`

使用効率

TRM-Bar™ w/152mm 直径 で使用効率: 70%以上

TRM-Bar™ w/152mm ドックボーン形状で使用効率: 80%以上

TRM-Bar™  High Utilization w/152mm直径で使用効率- 90%

mQRM-Bar™ w/170mm直径 で使用効率: 85%以上

QRM-Bar™ w/155mm直径 で使用効率: 85%以上

QRM-Bar™ w/165mm直径 で使用効率75%以上

分布

TRM: +/- 2%

QRM: +/- 1%

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