エンドブロック:大気側サイドマウント型

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    エンドブロック:大気側サイドマウント型

    SCI社のサイドマウント型エンドブロックは、最近のトレンドである薄膜太陽電池向けの装置に搭載できるほど十分にコンパクトであり、また世界で最も大きい基板を用いる建築用ガラス向け装置に搭載できるほど、パワフルです。それは、現在大小の2種類があり、その要求サイズと投入サイズに応じて、相応しいモデルをお選びいただけます。SMモデルの場合、110㎜のドライブシャフトの場合、長さ1.5mで重量約180kgまでのターゲットを完全片持ちで搭載可能です。

    このサイドマウントタイプのエンドブロックは、ドロップインタイプのエンドブロックよりも、広範囲をコーティングソーンとしてご利用いただけます。ほとんどすべてのメンテナンスを、大気側で行うことが可能です。さらにその際、真空を壊す必要はございません。ターゲット交換の際は、ドライブと、ユーティリティーは、チャンバーから取り外す必要はございません。

    SCI社のサイドマウント型エンドブロックは、非常に小型である為、小スペースにたくさんのドライブを搭載でき、非常に幅広なガラス基板やフィルム基板も効率よく成膜できるツールです。

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