e-Cathode™ 完成モジュール

SCI社は、スパッタ装置のメーカー様向けに、ターンキーのカソードモジュールをご提供可能です。もちろんそれは、貴社の装置側のインターフェースと適合する形でご提供致します。

また、エンドユーザー様の場合は、既存装置にカソードモジュールを追加し、それをすぐに使用する必要がある時があります。そういった時、SCI社の e-CathodeTMクローンは、貴社の既存のカソードモジュールと同じ外観、同じ電気的インターフェースでご提供可能です。一見、概観は、貴社の既存カソードモジュールと同じにみえますが、もちろんSCI社のエンドブロック、マグネットバー及びカソードをご利用可能です。

SCI社のエンドブロックは、殆どの他社製の従来エンドブロックと、そのフランジ面が共通ですので、非常に簡単に乗せ換えが可能です。

SCI社の e-CathodeTMは、完成されたカソードモジュールです。貴社の仕様並びに必要性に応じ、デジタルタイプもしくはアナログタイプをお選び頂けます。

Features
利点
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