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エンドブロック （チャンバー内搭載型）
SCI社の、チャンバー内搭載型エンドブロックは、高い信頼性と、容易なメンテナンス性を両立させています。弊社では3種類のタイプを揃えております。それは、貴社のお入用のサイズと投入パワーによって選択される事となります。SCI製品の特徴でもあります片持ちデザインは、回転シールとオーリングシールの数自体を、従来の両持ち式に比べ半分に減らせます。それにより、ロータリーカソードで最も多いリークのリスクを半分に減らせます。冷却水の充填および排水の機構も弊社製品のユニークな技術が用いられています。ほぼ100％の冷却水の充填率により、ターゲットの冷却効率が改善し、また排水の際も、殆どターゲット内部に冷却水を残しません。また、エンドブロック内すべてが同一の電位、すなわちカソードポテンシャルになる構造である為、 エンドブロック内部での電食の発生リスクを低減できます。電食は、時に冷却水のリークや、電気的短絡を発生させます。スパッタリングコンポーネンツ社のチャンバー内部搭載型エンドブロックは、如何なる装置にも搭載でき、また既存の古いタイプのエンドブロックから容易に置き換え可能です。
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エンドブロック：大気側サイドマウント型
SCI社のサイドマウント型エンドブロックは、最近のトレンドである薄膜太陽電池向けの装置に搭載できるほど十分にコンパクトであり、また世界で最も大きい基板を用いる建築用ガラス向け装置に搭載できるほど、パワフルです。それは、現在大小の2種類があり、その要求サイズと投入サイズに応じて、相応しいモデルをお選びいただけます。SMモデルの場合、110㎜のドライブシャフトの場合、長さ1.5mで重量約180kgまでのターゲットを完全片持ちで搭載可能です。
このサイドマウントタイプのエンドブロックは、ドロップインタイプのエンドブロックよりも、広範囲をコーティングソーンとしてご利用いただけます。ほとんどすべてのメンテナンスを、大気側で行うことが可能です。さらにその際、真空を壊す必要はございません。ターゲット交換の際は、ドライブと、ユーティリティーは、チャンバーから取り外す必要はございません。
ＳＣＩ社のサイドマウント型エンドブロックは、非常に小型である為、小スペースにたくさんのドライブを搭載でき、非常に幅広なガラス基板やフィルム基板も効率よく成膜できるツールです。
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RAM-Bar™ 遠隔制御式特殊マグネットバー
スパッタリングコンポーネンツ社の遠隔制御式マグネットバー「RAM-BarTM」は、装置稼働中に、マグネットとターゲット表面の距離を装置外側から精密調整するツールです。
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e-Cathode™ 完成モジュール
SCI社は、スパッタ装置のメーカー様向けに、ターンキーのカソードモジュールをご提供可能です。もちろんそれは、貴社の装置側のインターフェースと適合する形でご提供致します。
また、エンドユーザー様の場合は、既存装置にカソードモジュールを追加し、それをすぐに使用する必要がある時があります。そういった時、SCI社の e-CathodeTMクローンは、貴社の既存のカソードモジュールと同じ外観、同じ電気的インターフェースでご提供可能です。一見、概観は、貴社の既存カソードモジュールと同じにみえますが、もちろんSCI社のエンドブロック、マグネットバー及びカソードをご利用可能です。
SCI社のエンドブロックは、殆どの他社製の従来エンドブロックと、そのフランジ面が共通ですので、非常に簡単に乗せ換えが可能です。
SCI社の e-CathodeTMは、完成されたカソードモジュールです。貴社の仕様並びに必要性に応じ、デジタルタイプもしくはアナログタイプをお選び頂けます。
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各種マグネットバー
SCI TRM-Bar™ 及びQRM-Bar™ 及び mQRM-BarTM 、これらのマグネットバーはあなたが今必要とされている柔軟性をご提供致します。これらのマグネットバーのいずれかは、きっと貴社のプロセスにマッチするでしょう。
SCIの最先端マグネットバーの特徴は以下の通りです：
- 貴社のアプリケーションに応じた複数のマグネットバーをご用意しております。
- 3次元解析のソフトを用いて最先端のマグネットバーをご提供致します。
- 弊社の自動磁場検査装置を用いて精密にキャリブレーションされた状態で出荷致します。
- 数年もの間トラブル無しでのオペレーションを可能とする様、完全にマグネットを冷却水から隔離したカプセル法で、且つ非常に頑丈な構造をしています。
- スパッタアップ、スパッタダウン、サイドスパッタ等あらゆる角度で用いられるよう、サポートディスク、サポートローラーを備えています。（センター部のサポートディスク及びローラーは、1800㎜以上から標準装備）
- 現場での磁場調整が容易に可能です。
- 垂直搭載でも簡単に脱着可能です。
弊社新製品 「SCI RAM-BarTM 」は、チャンバーの外から遠隔でターゲット内のマグネット表面から、ターゲットの内壁の距離、即ちTTM距離を調整可能です。それにより、装置のオペレーション中に、分布の微調整が可能になります。このRAMバーには、弊社のいずれのタイプのマグネットも搭載可能です。
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スイングカソード™
弊社の「Swing CathodeTM 」エンドブロックは、弊社のSCシリーズエンドブロックと同様の特許技術を用いて開発されており、非常のコンパクトながら、SCシリーズと同様なパフォーマンスと信頼性をもたらしながら、内部のマグネットが左右に揺動します。詳細は右記のリンクをご参照ください。 application paper.
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DMPTS プラズマトリートメントソース
弊社の「envis-ION™ Dual Magnetron Pretreatment source」 、通称DMPTSは、樹脂基板への成膜の前処理用ツールとして有効です。 スパッタプロセスと同様な真空度で使用できる為、例えばスパッタソースからの置き換えや、その隣接した個所での使用が可能です。典型的なアノードレイヤーイオンソースのように、基板に対して過剰な処理を加え、ダメージ等を発生させる事無く、基板と膜の密着性を高めます。詳細は右記のリンクをクリックしてください。 application paper.
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スイング効果シュミレーションソフト
Swing-DUOTM (Dynamic Uniformity Optimization) ソフトウエアは、弊社の「Swing CathodeTM」を用いる際、マグネットバーの揺動の範囲と周期について最適化する為のシュミレーションソフトです。
メンバー: ソフトウエアをご覧になるには右記リンクをクリックしてください。 Swing-DUOTM
非メンバー: 右記リンクよりメンバー登録をしてください。 member
デモンストレーションビデをご覧になる為には、右リンクをクリックしてください。Demo Video
製品
SCI社は、ロータリーカソード、完成されたモジュールであるEカソードリッドシステム、および如何なる基板幅にもカスタムメイドで仕上げるマグネットバーをご提供しています。
