エンドブロック (チャンバー内搭載型)

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    SC-シリーズ チャンバー内搭載型エンドブロック

    SCI社の、チャンバー内搭載型エンドブロックは、高い信頼性と、容易なメンテナンス性を両立させています。弊社では3種類のタイプを揃えております。それは、貴社のお入用のサイズと投入パワーによって選択される事となります。SCI製品の特徴でもあります片持ちデザインは、回転シールとオーリングシールの数自体を、従来の両持ち式に比べ半分に減らせます。それにより、ロータリーカソードで最も多いリークのリスクを半分に減らせます。冷却水の充填および排水の機構も弊社製品のユニークな技術が用いられています。ほぼ100%の冷却水の充填率により、ターゲットの冷却効率が改善し、また排水の際も、殆どターゲット内部に冷却水を残しません。また、エンドブロック内すべてが同一の電位、すなわちカソードポテンシャルになる構造である為、 エンドブロック内部での電食の発生リスクを低減できます。電食は、時に冷却水のリークや、電気的短絡を発生させます。スパッタリングコンポーネンツ社のチャンバー内部搭載型エンドブロックは、如何なる装置にも搭載でき、また既存の古いタイプのエンドブロックから容易に置き換え可能です。

    詳細について

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    MC-シリーズ チャンバー内搭載型エンドブロック

    SCI社の、チャンバー内搭載型エンドブロックは、高い信頼性と、容易なメンテナンス性を両立させています。弊社では3種類のタイプを揃えております。それは、貴社のお入用のサイズと投入パワーによって選択される事となります。SCI製品の特徴でもあります片持ちデザインは、回転シールとオーリングシールの数自体を、従来の両持ち式に比べ半分に減らせます。それにより、ロータリーカソードで最も多いリークのリスクを半分に減らせます。冷却水の充填および排水の機構も弊社製品のユニークな技術が用いられています。ほぼ100%の冷却水の充填率により、ターゲットの冷却効率が改善し、また排水の際も、殆どターゲット内部に冷却水を残しません。また、エンドブロック内すべてが同一の電位、すなわちカソードポテンシャルになる構造である為、 エンドブロック内部での電食の発生リスクを低減できます。電食は、時に冷却水のリークや、電気的短絡を発生させます。スパッタリングコンポーネンツ社のチャンバー内部搭載型エンドブロックは、如何なる装置にも搭載でき、また既存の古いタイプのエンドブロックから容易に置き換え可能です。

    詳細について

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    TC-シリーズ チャンバー内搭載型エンドブロック

    The TC-Series internal end blocks have a unique power-delivery technology in the most compact design available

    TCエンドブロックは、他のモデルと同様に、SCI社の特許技術である独特のパワー伝達方式を採用しております。

    詳細について