SCI社について

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事業拠点

Sputtering Components Inc, 通称 SCI社は、2001年に設立されました。その本社、経理、人事機能はカリフォルニア州のリバモア(Livermore)にございます。販売、製造、サービス、および、製品保守機能は、ミネソタ州のオワタナ(Owatonna)にございます。

SCI社は、ロータリーカソード、エンドブロック、完成モジュールであるEカソードシステム、そしてマグネットバーを製造しています。それは、いかなる基板幅にも対応し、客先の仕様に基づきながら製作いたします。SCIのエンジニアは、3次元モデリングの為に、SolidWorksを使用しています。
そのモデリング図面は客先とシェアされ、客先から装置全体の図面のご提供が可能な場合は、装置全体の図面にSCI社のロータリーカソードをはめ込みながら、描かれます。
それにより、制約のあるチャンバースペースの中で、最大限効率化されたロータリーカソードをご提案いたします。

 

高品質

SCI社は、磁場設計とガスの流動を適切にシュミレーションする為に、最先端のソフトウェアを使用しています。またそういった緻密なシュミレーションに基づきながら、最大のパフォーマンスが引き出せるよう、ガス配管も設計しています。

ターゲット並びにその他すべての機械部品は、長期に渡ってオペレーションができるように、できるだけ負荷を減らた構造で設計されています。磁場は、ターゲットの使用効率と基板への膜厚分布を最善化させると同時に、ターゲットの両端に発生する非エロ―ジョンエリアを最小化させる様、3次元FEAプログラムを用いながら緻密に設計されています。
また、SCI社の品質管理部門は、天候に影響を受けないコントロールされた環境下に設置されています。弊社では、0.00762㎜(0.0003インチ)の精度で測定可能可能な、座標測定機(CMM)を採用しています。

生産の際は、機械的部品と磁場の両方の品質検査が実施されます。

 

製造

SCI社は、最先端の技術を用いて、最先端の製品を製作しています。完全に自社で生産することによって、品質と納期を直接管理できます。SCI社は、客先の様々なご要望にお応えする為、高精度CNCマシーニングセンターを採用しています。そのマシーニングセンターは、直径0.1インチから30インチまでの部材を処理可能で、0.1インチから60インチまでの部材の旋盤加工が可能です。すべての装置は、100%の再現性と精度を確保する為に、定期的に保守点検及び校正されます。

すべてのモジュールは、熟練のエンジニアによってプログラムされ、出荷前に各機能を丁寧に検査されます。各部品は、各客先の要望に応じて、洗浄、組み立てそして小分けにパッキングされます。最終的な組み付けされたアッセンブリ―は、輸送中にダメージが発生しないよう、丁寧に梱包されます。
 

テスト、リサーチそして開発

SCI社のテストチャンバーを用いて、様々なテストとリサーチが可能です。客先は、このSCI社のテスト機をご利用いただく事によって、客先独自のパラメーターがもたらす、成膜レート、プロセスの安定性、そしてフィルムの機能等を、事前に評価することができます。
 

サービスとサポート

SCI社スタッフは、客先と共に、客先のニーズに合った高品質な製品をより確実化する為に、一段一段、客先と相談しながら物事を進めます。SCI社は、世界中で、サービスとサポートを提供します。それは、SCI社独自の技術者であったり、SCI社の各地での代理店であったりします。